硅片预冲洗设备气动隔膜泵
2018-03-18 21:13
硅片预冲洗设备包括喷淋槽、抛动电机、气动隔膜泵、废砂浆收集箱，所述喷淋槽还包括喷淋管、过滤网，所述喷淋槽分别与抛动电机和气动隔膜泵连接，所述气动隔膜泵与废砂浆收集箱相连,气压罐。
所述的喷淋管有四排，且喷淋管上设有气嘴，用于清洗硅片。
所述的过滤网设于喷淋槽的底部。
所述的喷淋槽后面设有挡板，所述挡板上设有滑道及与滑道相匹配的滑块。
所述的喷淋槽和气动隔膜泵之间的管道上设有气动排液阀。
有益效果
所述的新型硅片预冲洗设备，具有以下优点：采用向喷淋管通气，通过喷淋管内气体产生的强气流，推动喷淋槽内水的流动，达到对硅片的清洗目的，降低耗水量，节约水资源；同时通过气动隔膜泵将喷淋槽内产生的废砂浆水抽到废砂浆收集箱内，减少水内赃物量，气压罐。防止喷淋管上的气嘴被赌，减少故障处理，节约人力成本，提高了产品的质量，与此同时废砂收集箱内的废砂可以复利用，降低了处理成本
- 上一篇：中国电磁阀技术新发展
- 下一篇：压力罐的主要组成部分
